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  • 產品名稱: 棒式/片式電阻鍍膜機
  • 上架時間: 2016-04-12
  • 瀏覽次數: 416

金屬膜電阻鍍膜機

  金屬電阻鍍膜機系列產品是應用磁控濺射現象制造的真空鍍膜設備。該設備性能同國外同類產品持平,但裝載量翻倍。

    共分為棒式電阻鍍膜機和片式電阻鍍膜機兩類。
 

    棒式電阻鍍膜機

分子泵機組

擴散泵機組

 

項目

型號

鍍膜室尺寸

極限真空

Pa

磁控源電源

真空機組

滾筒

操作方式

JCD-6

φ600x558

6.7×10-4

逆變式

直流電源

擴散泵機組

可拆卸滾筒

手動

JCD-6A

手動、自動

JCD-6F

5.0×10-4

分子泵機組

手動

JCD-6E

手動、自動

※磁控源電源用戶可選擇單極脈沖電源或射頻電源。

 

片式電阻鍍膜機


    該設備為立式雙磁控靶結構,真空機組有擴散泵機組和分子泵機組兩種,可任選。

項目

型號

鍍膜室尺寸

極限真空

Pa

磁控源電源

真空機組

滾筒

操作方式

SCP-8

φ800x650

4.75×10-4

逆變式

直流電源

擴散泵機組

可拆卸

滾筒

手動或自動

SCP-8B

5.0×10-4

分子泵機組

手動、自動

※磁控源電源用戶可選擇單極脈沖電源或射頻電源

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