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真空鍍膜機設備有哪些分類?

瀏覽次數: 日期:2017-12-25

真空鍍膜機設備有哪些分類?

 

對于真空鍍膜機設備的分類,到底了解多少?真空設備維修廠家表示,真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。主要是分成蒸發和濺射兩種。

 

  在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。

 

      真空鍍膜機對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經歷成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。

 

  根據工藝要求選擇不同規格及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據片尺寸及形狀提出相應要求,轉動的速度范圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。

 

不同類型鍍膜機的適用范圍介紹

1、磁控濺射鍍膜設備:應用于信息存儲領域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等

2、磁控濺射鍍膜機:應用于防護涂層,如飛機發動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等

3、磁控濺射鍍Al膜生產線:應用于太陽能利用領域,如太陽能集熱管、太陽能電池等

4、光學鍍膜設備:應用于光學薄膜領域,如增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等

5、AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產線:應用于信息顯示領域,如液晶屏、等離子屏等

6、觸摸屏連續式鍍膜生產線:應用于觸摸屏領域,如手機、電腦、MP4等數碼產品屏幕等。

7、磁控中頻多弧離子鍍膜設備:應用于硬質涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。

8、PECVD磁控生產線:應用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。

9、蒸發式真空鍍膜設備:應用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。

10、低輻射玻璃鍍膜生產線:應用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。

11、抗反射導電膜連續磁控濺射生產線:應用于電子產品領域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數碼相機和掌聲電腦等。

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